LED和化合物半导体制造的新型真空泵

干泵技术包括罗茨泵、爪式泵和螺杆式技术，Edwards新型CXS真空泵等干泵设备的一个关键优势就是它们不使用水或油来进行真空阶段的密封或润滑，因而这些设备的运行成本非常经济，可让用户优化真空工艺，并大限度地降低总体拥有成本。

　　干泵消除了工艺过程污染油或油搭载进入尾气处理系统的风险，它们不会产生废物、或者污染宝贵的溶剂、产品或环境。正因为这样，与基于液体的水环泵、油封泵和蒸汽喷射系统相比，干泵设备除了能够提高速度、工艺可重复性、灵活性和生产率之外，还能够显着节省运营成本、维护成本和安装空间。

　　易于使用的CXS泵系列采用的锥形螺杆技术，具有*的可靠性，而且安装简单、环保并提供更高的液态和固态物处理能力。

　　*的螺杆技术能够沿着转子(rotor)提供平滑的渐进压缩，从而在所有入口压力下提供改进的热量控制和抽空。此外，CXS泵的特点是具有*的温度管理系统(temperature management system, TMS)，将温度保持在可控制的水平上，实现工艺性能的优化。

　　创新的CXS泵设计包含了有助于实现出色性能的新颖压缩和马达技术，相比标准的马达及整体驱动和控制系统，使用浸没式空气间隙封装马达(flooded air-gap potted motors)，效率大大提高，从而降低总体拥有成本。