真空系统的设计方案步骤及真空系统连接方式

一、真空系统的设计方案步骤

1、根据被抽容器对真空度的要求，选择适当的真空系统设计方案，进行选、配泵计算；

2、确定导管、阀门、捕集器、真空测量元件等，进行合理配置；

3、后画出真空系统装配图和零部件图。

二、真空系统的连接方式

真空系统，组装质量的高低直接决定了真空系统性能的优劣。连接处密封不漏气和具有足够的机械强度是真空组装技术的关键。

根据不同的工作要求，连接方法可分为不可拆卸连接、可拆卸连接和可动连接三类。当连接的元件不需要经常拆卸时，都采用这种连接。因为它可保证好的密封性和机械强度。

1、玻璃与玻璃的封接：玻璃与玻璃的连接常用煤气火焰进行熔化烧接而成。

得玻璃之间可靠的连接，必须使被封两玻璃的膨胀系数相匹配。实验指出，只有当两玻璃膨胀系数不超过7×10-7时，封接处所产生的内应力才不致于引起玻璃炸裂。如果要使膨胀数相差较大的两种玻璃焊在一起时，则应采用过渡接头。如要使钼组玻璃与石英熔封时，则要用一系列膨胀系数渐降的玻璃过渡封接。玻璃与玻璃的封接被广泛用于玻璃真空系统，以及真空规管的连接。

2、金属与金属的熔焊：将两金属的连接处局部加热直至它们的边缘熔化，这是由于互扩散及混合，边界逐渐消失，固化后便可得到熔焊接头，对不锈钢材料的熔焊，目前广泛使用氩弧焊，可以得到气密性很好的焊缝。此外，电子束焊、等离子焊都是常采用的焊接方法。

3、金属与金属的钎焊：金属钎焊与熔化焊不同，这种焊接是通过熔点低于被焊金属的焊料将其连接起来。其方法是把被焊件和焊料放在一起加热，加热温度仅需要稍高于焊料的熔点，焊料熔化后，润湿填满焊缝，固化后便得到钎焊接头。这种钎焊方法不损伤被焊件，焊件的装配尺寸精确。

4、金属与玻璃的焊接：金属与玻璃的封接是利用玻璃润湿被封接金属表面的氧化层而封接在一起的，金属与玻璃的封接有匹配封接和不匹配封接两种。匹配封接是指膨胀系数相近的玻璃和金属之间的封接，如钨与钨组玻璃的封接，钼、可伐与钼组玻璃的封接，铂、杜美丝和软玻璃的封接。而不匹配封接是膨胀系数相差较大的玻璃和金属之间的封接，如薄壁无氧铜管与硬玻璃的封接。

5、金属与陶瓷的封接：金属与陶瓷的常用封接方法有两种，即活性金属法和钼锰活性属法是给陶瓷封接面涂一层活性金属（钛），再将焊料夹在金属与陶瓷封接面中，放入氢气中加温，直至焊料熔化，保温一段时间，降温后即可得到持久牢固的封接。