干式涡旋真空泵相关技术和安全使用问答

Q：涡旋干式真空泵使用注意事项？

A：◇涡旋干式真空设计用于抽大气。所以不要用此泵抽特殊气体、含国家特殊化学品规定成分的特殊或高浓度强酸强碱性气体、或半导体工艺中高浓度气体、有机溶剂、结晶气体等。

◇检查确定此真空泵安全接地。

◇此泵工作过程中或刚停机时不要接触泵电机或金属部件（因为工作时很热，最高可能达到70℃）。如确实需要接触，采取必要防护措施防止受伤。

◇未加风扇盖前，不要启动泵。
◇泵工作条件要求：环境温度5～35℃。如果超过35℃，可能引起泵或电机性能下降。

◇涡旋干式真空泵必须与设计规定电源连接。

◇必须安装电机保护开关。

Q：涡旋干式真空泵电机没有热保护开关，电机锁死时不能提供过热保护。必须在泵与电源线之间加电机保护开关，否则电机锁死时可能冒烟甚至起火。

◇移动泵时不要握塑料件，否则塑料件可能破损。

◇不要刮碰进气口与排气口法兰，以免损坏法兰口，导致真空度上不去。

如果真空度上不去，更换法兰。

◇在进气口处装真空阀。

真空泵停止后进气口处真空度降低，是因为排气口处的大气返至进气口处，不是真空泵的原因。如要保证真空室内的真空度，要在真空室与泵之间安装真空阀。

◇排气口处要接排气管，以防灰尘进入泵内。 

Q：涡旋干式真空泵加气镇阀时注意事项？

A：加气镇阀主要是为了抽包括水蒸气在内的特殊气体，保证泵的良好抽气性能。使用涡旋干式真空泵时，除上述注意事项外，还要注意：

◇不要用此泵抽腐蚀性气体
此泵只能抽空气、氮气和水蒸气。不要用此泵抽腐蚀性气体，如有机溶剂、高浓度半导体工艺用气体、高浓度强酸强碱性气体等。这些气体容易使轴承失效。

◇被抽气体水蒸气含量必须少于要求值。如果超过此极限，将缩短气镇阀寿命

◇加滤网

使用气镇阀时，必须加滤网。否则可能抽进灰尘。

◇定期检查

为了泵正常工作，要对滤网进行定期检查。否则气镇阀不能正常工作。

◇供气

要保证加适量的气体使泵高效率工作。

Q：涡旋干式真空泵安装地点要求？

A：涡旋干式真空泵的安装应满足下述要求：

①平面放置

②避免阳光直射

③环境温度5～35 ℃；湿度90%，或没有结露

④通风良好

⑤泵附近不得存放化学品或易燃品

⑥防潮

⑦泵周围环境易于对泵进行清理检验。

Q：涡旋干式真空泵与电源连接的注意事项？

A：◇检查确认此泵电源接地良好。

◇检查确认此泵电源为要求值。

◇在此泵与真空室之间安装保护开关。

Q：涡旋干式真空泵与电源连接步骤？

A：①打开电机接线盒，将电源线与接线柱连接。

②电源线应当为达到或超过直径1.25毫米四芯电缆。具体参见使用说明书。

③有的涡旋干式真空泵电机内部无热保护器，一定要安装保护开关，推荐为额定电流低于10A。具体参见使用说明书。

④确认此泵从电机方向看顺时针方向转动。打开进气与排气口。打开电机开关起动电机2-3秒。检查确定进气口抽气。如果电源线连接错误，将从排气口进气。

Q：涡旋干式真空泵排气注意事项？

A：◇涡旋干式真空设计用于抽大气不要用此泵抽特殊气体、含国家特殊化学品规定成分的特殊或高浓度强酸强碱性气体、或半导体工艺中高浓度气体、有机溶剂、结晶气体等。

◇不要用此泵抽灰尘。抽灰尘时，一定加滤网。

◇不要刮碰进气口与排气口法兰

以免损坏法兰口，导致真空度上不去。如果真空度上不去，更换法兰。

◇在进气口装进气阀