爱德华真空泵的种类有哪些呢,看完您就知道了
爱德华真空泵的泵体的布置结构决定了泵的总体结构。立式结构的进、排气口水平设置,便于管道的组装和连接。但由于泵的重心高,在高速下稳定性差,所以这种泵多用于小型泵。
卧式泵的进风口在顶部,出风口在底部。有时为了便于真空系统管路的安装和连接,排气口可以从水平方向连接,即进出口方向相互垂直。此时,排气口可从左或右打开,除一端是排气管外,另一端是堵塞或连接旁通阀。这种泵重心低,高速时稳定性好。一般大中型泵都采用这种结构。

爱德华真空泵的种类都有这些:
1、爪式真空泵
它是针对电子半导体工业而研制开发的干式真空泵,适应清洁真空需求,并且具有自行开闭的阀门效果,具备较高的效率。
2、螺杆真空泵
螺杆真空泵和爪形真空泵一样,是一种非接触式无油真空泵。泵腔内无油、水等物质。同时,转子之间有间隙,因此对颗粒物和可冷凝气体有一定的耐受性。同时,与爪形真空泵相比,由于它没有与阀门类似的结构,存在效率不足的问题,但其气道通畅,转子结构简单,适应性较好,因此两者都具有优势。
3、涡旋式真空泵
涡旋真空泵的开发和生产主要集中在美国、日本和英国,因此国内很多企业对这种无油真空泵并不了解。由于其抽速低,被广泛应用于分析仪器、半导体芯片生产线、科研设备以及分子泵和小型低温泵。
4、罗茨真空泵
罗茨真空泵种类较多,分湿式、干式以及直排大气型、普通型、多级罗茨等等,因此造成了一些用户对它的误解。应用于中高真空的机械增压泵以及多级罗茨泵其实都是无油真空泵,且抽气量大,应用广泛。
5、无油旋片真空泵与无油活塞真空泵(往复泵)
普通的旋片式真空泵和活塞式真空泵虽然在泵腔内有油介质,但也可以利用自润滑材料实现无油运行,成为无油真空泵。另外,往复泵中的隔膜真空泵,也没有油型。
6、涡轮分子泵
它是一种原应用于超高真空的无油真空泵,随着向高出口压力、高流量方向发展,应用范围逐渐向中高真空领域发展。
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