镀膜机真空泵是在一定的封闭空间内，通过各种方法产生、提高和保持真空的装置。真空镀膜设备的真空泵是指用机械的、物理的、化学的或物理化学的方法从容器中抽出空气以获得真空的装置或设备。随着真空镀膜机真空应用的发展，真空泵的种类也越来越多。泵速从每秒0.0升到每秒数十万或数百万升。及限压力（及限真空）范围从粗真空到10-12pa以上的高真空。
真空镀膜机主要是指需要在高真空下进行的镀膜，包括真空离子蒸发、磁控溅射、MBE分子束外延、PLD激光溅射沉积等多种。其主要思想分为蒸发和溅射。
镀膜机真空泵在日常中应这样维护保养：
1、检查旋片式真空机组管路及接头有无松动。用手转动真空泵，看它是否灵活。
2、向轴承体中加入轴承润滑油，观察油痕中芯线油位，及时更换或补充润滑油。
3、关闭出口管闸阀、出口压力表、进口真空表。
4、拧下真空泵体的引水塞，注入水或泥浆。
5、点动电机，看电机转向是否正确。
6、启动电机。真空泵正常工作时，打开真空泵出口压力表和滑阀。根据适当的压力逐渐打开闸阀，同时检查电机负载。
7、尽量将真空泵的流量和扬程控制在标牌上标明的范围内，以保证真空泵在高校率点运行，从而达到大的节能效果。
8、真空泵运行时，轴承温度不得超过35℃，高温度不得超过80℃。
9、如发现镀膜机真空泵有异响，应立即停机检查原因。真空泵在一个月内100小时后更换润滑油，然后每500小时更换一次润滑油。
10、定期检查轴套磨损情况，磨损较大时及时更换。
更新时间：2021-06-17 
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